Author Affiliations +
Thomas Alcaire,1,2 Delphine Le Cunff,1 Jean-Hervé Tortai,2 Sebastien Soulan,2 Victor Gredy,1 Maxime Templier,1 Mehdi Kessar,1 Raffaele Bianchini,1 Audrey Berthoud3
1STMicroelectronics (France)
2Univ. Grenoble Alpes, CNRS, CEA-LETI Minatec (France)
3CEA-LETI Minatec (France)